描述：

電子槍

類型:冷場發(fā)射電子源(Cold Field Emission Gun, CFEG),發(fā)射面積小、能量集中,壽命可達 5 年以上。

加速電壓:0.5–30 kV(0.1 kV / 步連續(xù)可調(diào)),支持低電壓模式(如 1 kV)觀察絕緣樣品。

分辨率

二次電子像(SEI):

15 kV 時:1.0 nm(標準模式)。

1 kV 時:2.0 nm(正常模式);1.4 nm(減速模式,通過電子束減速技術(shù)優(yōu)化表面靈敏度)。

背散射電子像(BSEI):純 BSE 成像支持低電壓操作,適用于成分分析。

放大倍率

20× 至 800,000×,覆蓋從宏觀到納米級的觀察需求。

束流強度

1 pA 至 2 nA,可根據(jù)分辨率與信號強度需求靈活調(diào)節(jié)。

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