描述：

電子槍:冷場發(fā)射電子槍(Cold Field Emission Gun),亮度高達~2×10? A/cm2/sr,能量分散僅 0.2-0.3 eV。

分辨率:

二次電子像:15 kV 時≤1.5 nm(工作距離 12 mm);1 kV 時≤2.1 nm(工作距離 2.5 mm)。

背散射電子像:1 kV 時分辨率 2.1 nm。

加速電壓:0.5-30 kV 連續(xù)可調(diào),支持低電壓高分辨成像(如 1 kV 下實現(xiàn) 2.1 nm 分辨率)。

放大倍數(shù):

低倍模式:30-2000 倍(部分來源標注為 20-2000 倍)。

高倍模式:250-500,000 倍。

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