描述：

電氣特性

輸入電壓:208-480V AC(三相),支持寬電壓范圍以適應(yīng)工業(yè)環(huán)境。

功率范圍:100W 至 3000W,覆蓋實驗室到量產(chǎn)場景。

頻率支持:固定或可選頻率(如 13.56MHz、2MHz),支持雙頻模式優(yōu)化等離子體控制。

動態(tài)響應(yīng):響應(yīng)時間小于 200ms,適應(yīng)等離子體阻抗快速變化的工藝。

輸出特性

輸出類型:支持射頻(RF)和直流(DC)輸出,可通過外部控制器切換模式。

阻抗匹配:集成自動阻抗匹配網(wǎng)絡(luò),反射功率低于 200W,確保能量高效傳輸至負載。

功率穩(wěn)定性:±0.1%-±1%,頻率精度 ±0.005%,滿足高精度工藝要求。

控制與接口

通信接口:標(biāo)配 RS-232、USB 和以太網(wǎng)接口,支持 Modbus、DeviceNet 等協(xié)議。

操作界面:配備 7 英寸 TFT 觸摸屏,支持本地參數(shù)設(shè)置和實時狀態(tài)監(jiān)控。

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