坐標(biāo)軸性能
X 軸:進(jìn)給速度范圍 1.0–1000mm/s,支持高速掃描切割;
Y 軸:定位精度≤3μm(210mm 行程內(nèi)),重復(fù)定位誤差控制在 ±0.003mm 以內(nèi);
Z 軸:重復(fù)精度達(dá) 1μm,聚焦深度調(diào)節(jié)分辨率 0.1μm,確保激光能量精準(zhǔn)作用于材料內(nèi)部;
旋轉(zhuǎn)軸:支持 360° 旋轉(zhuǎn),配合視覺系統(tǒng)實(shí)現(xiàn)任意角度切割路徑規(guī)劃。
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