南京其他二手機床
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一、工作原理(RAS 核心)傳統(tǒng)反應濺射:濺射 + 氧化在同一空間,容易靶中毒、打弧、膜層疏松。RAS 工藝做**空間分離**兩步完成成膜1. 濺射區(qū):雙陰極 Dual?Cathode 濺射金屬靶,沉積金屬薄層;2. 激化反應區(qū):獨立 ICP?RF 自由基源通入氧,把金屬層充分氧化成致密氧化物薄膜;… 面議
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