描述：

二手光馳AR膜/AF膜/高反射膜/金屬膜專用光學(xué)鍍機(jī) 真空電鍍機(jī)設(shè)備特點(diǎn)

高精度膜厚控制:采用精密的石英膜厚監(jiān)控與光學(xué)膜厚監(jiān)控技術(shù),如 6 點(diǎn)式晶振傳感器與 HOM2 光學(xué)膜厚監(jiān)控系統(tǒng),可實(shí)現(xiàn) ±1% 的膜層均勻性,能夠精確控制薄膜的厚度。

多種鍍膜工藝支持:可以配備多種類型的離子源,如 RF 離子源等,支持電子蒸發(fā)、熱阻蒸、磁控濺射等多種鍍膜工藝,可擴(kuò)展至 100 層以上的復(fù)雜膜系設(shè)計(jì)。

高真空性能:光馳鍍膜機(jī)的真空系統(tǒng)采用愛(ài)發(fā)科干泵 + ULVAC 冷泵組合等,極限真空度可達(dá) 0.5-0.7mPa,抽氣速度快,10-15 分鐘內(nèi)可完成大氣壓至 2.0×10?3Pa 的快速抽氣。

基板處理能力強(qiáng):鍍膜室尺寸覆蓋Ф1300mm 至Ф2350mm 等多種規(guī)格,支持直徑 2200mm 的 5 片式基板架,基板轉(zhuǎn)速 20-30rpm 可調(diào),可適配大面積光學(xué)薄膜制備和不同形狀基材的均勻鍍膜需求。

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