Keithley 6517A 5 1/2 位靜電計(jì)/高電阻表提供極高的精度和靈敏度規(guī)格。它還提供了多種功能,可簡化高電阻和絕緣材料電阻率的測量。Keithley 6517A 的讀取速率高達(dá)每秒 125 個(gè)讀數(shù),其速度也明顯快于同類靜電計(jì),因此它提供了一種快速、簡單的方法來測量低電平電流。
測量高達(dá) 1018Ω 的電阻
10aA(10×10-18A)電流測量分辨率
小于 3fA 輸入偏置電流
6 1/2 位高精度測量模式
低電流范圍內(nèi)的負(fù)載電壓小于 20μV
輸入阻抗 >200TO 時(shí)電壓測量高達(dá) 200V
內(nèi)置+/-1000V電壓源
用于高電阻測量的獨(dú)特的交流極性電壓源和測量方法
用于四種不同器件特性測試、表面電阻率和體積電阻率、表面絕緣電阻和電壓掃描的內(nèi)置測試序列
可選插入式掃描儀卡,可通過一種測試設(shè)置測試多達(dá) 10 個(gè)設(shè)備或材料樣
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