主要特點
高精度測量:能夠提供納米級精度的測量,可快速、可靠地測量光學元件、系統(tǒng)和組件的表面形狀誤差和透射波前。
多種創(chuàng)新技術(shù):如 Qualifire 型號配備的飛點模塊,集成了 RoF 技術(shù)和環(huán)紋抑制技術(shù)(CARS),能有效減少甚至消除噪聲、灰塵等偽影,提高測量的可靠性和可重復性。
智能附件接口:干涉儀可以自動識別安裝的 “智能附件”,并自動加載應用系統(tǒng)誤差文件以及進行橫向校準,提高測量效率和準確性。
優(yōu)化的用戶體驗:具有體積小、重量輕、操作方便等特點,如 Qualifire 系列中最小的型號重約 20.4 千克,是真正的便攜式設(shè)備;同時,其設(shè)計有優(yōu)化的電源按鈕、機械安裝支腳和更大的控制旋鈕,便于操作和調(diào)整。
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