描述：

白光干涉儀的測(cè)量應(yīng)用:

光學(xué)3D表面輪廓儀具有測(cè)量精度高、操作便捷、功能全面、測(cè)量參數(shù)涵蓋面廣的優(yōu)點(diǎn),測(cè)量單個(gè)精密器件的過程用時(shí)2分鐘以內(nèi),確保了高效率檢測(cè)。光學(xué)3D表面輪廓儀獨(dú)有的特殊光源模式,可以廣泛適用于從光滑到粗糙等各種精密器件表面的測(cè)。Veeco公司在掃描探針顯微鏡基本工作原理干涉儀是利用干涉原理測(cè)量光程之差從而測(cè)定有關(guān)物理量的光學(xué)儀器。兩束相干光間光程差的任何變化會(huì)非常靈敏地導(dǎo)致干涉條紋的移動(dòng),而某一束相干光的光程變化是由它所通過的幾何路程或介質(zhì)折射率的變化引起,所以通過干涉條紋的移動(dòng)變化可測(cè)量幾何長(zhǎng)度或折射率的微小改變量,從而測(cè)得與此有關(guān)的其他物理量。測(cè)量精度決定于測(cè)量光程差的精度,干涉條紋每移動(dòng)一個(gè)條紋間距,光程差就改變一個(gè)波長(zhǎng)(~10-7米),所以干涉儀是以光波波長(zhǎng)為單位測(cè)量光程差的,其測(cè)量精度之高是任何其他測(cè)量方法所無法比擬的。白光干涉儀的主要功能: 觀察、分析、應(yīng)用特點(diǎn):1 、非式測(cè)量:避免物件受損。2 、三維表面測(cè)量:表面高度測(cè)量范圍為 1nm 200μm。3 、多重視野鏡片:方便物鏡的快速切換。

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