美國 ZYGO 激光干涉儀
應(yīng)用領(lǐng)域
半導(dǎo)體和光刻:用于半導(dǎo)體制造過程中的晶圓、 mask 等的測量和檢測,確保其精度符合要求。
空間成像系統(tǒng):對光學(xué)元件的精度要求極高,ZYGO 激光干涉儀可用于檢測相關(guān)光學(xué)元件的表面形狀和透射波前,保證成像質(zhì)量。
消費電子產(chǎn)品:如手機攝像頭、VR 眼鏡等的光學(xué)元件生產(chǎn)中,用于質(zhì)量控制和檢測,提高產(chǎn)品的光學(xué)性能。
國防和航空航天:在國防領(lǐng)域的紅外和熱成像系統(tǒng),以及航空航天中的望遠鏡、光學(xué)鏡片等的制造和檢測中發(fā)揮重要作用。
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