描述：

分辨率

采用 i-line(365nm)光源及高數(shù)值孔徑(NA)投影鏡頭,支持**≤500nm**的線寬分辨率。其 1:2 縮小投影鏡頭(NA 0.28~0.37 可變)可在單次曝光中實(shí)現(xiàn) 52mm×56mm(Φ70.7mm 內(nèi)接圓)的超大視場(chǎng)覆蓋,避免了傳統(tǒng)拼接曝光帶來(lái)的圖像質(zhì)量損失。

對(duì)準(zhǔn)精度

疊加精度(Overlay Accuracy)達(dá)到**≤50nm(|M|+3σ)**,通過(guò) WB-OAS(寬波段對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng))和 EAGA(增強(qiáng)型全局對(duì)齊)等可選功能,可進(jìn)一步補(bǔ)償非線性誤差,滿足多層堆疊工藝的嚴(yán)格要求。WB-OAS 支持可見(jiàn)光至紅外波段的多波長(zhǎng)檢測(cè),尤其適用于彩色濾光片工藝和背照式傳感器(BSI)的背面標(biāo)記對(duì)準(zhǔn)。

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