描述：

光源:采用 Cymer ELS-6400 KrF 準(zhǔn)分子激光,波長(zhǎng) 248nm,輸出功率 ≥1000mW/cm2(NA/σ=0.68/0.75 條件下實(shí)測(cè) 1257mW/cm2)。

投影鏡頭:數(shù)值孔徑(NA)0.68,支持可變 NA 調(diào)節(jié)(0.55-0.68),縮小倍率 4:1,最大曝光視場(chǎng) 25mm×33mm。

分辨率:標(biāo)稱 ≤180nm,掃描電子顯微鏡(SMP)測(cè)試可達(dá) 165nm;通過分辨率增強(qiáng)技術(shù)(Shrinc)可進(jìn)一步優(yōu)化至 150nm。

畸變控制:動(dòng)態(tài)畸變 ≤±20nm(X/Y 方向?qū)崪y(cè)分別為 10nm 和 1nm),放大倍率控制精度 <±10nm。

照明均勻性:≤1.3%(NA/σ=0.68/0.75 條件下實(shí)測(cè) 1.03%),遠(yuǎn)心度 ≤25urad(實(shí)測(cè) -0.024urad)。

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