描述：

韓一HVC-2700系列全動真空鍍膜機的主要技術參數(shù)及配置明細如下:

一、核心結(jié)構(gòu)與性能

?腔體規(guī)格?

直徑:2700mm × 高度1600mm(型號HVC-2700),有效鍍膜區(qū)域直徑達2610mm。

整機重量約14-15噸。

?真空系統(tǒng)?

極限真空度:8.0×10??Pa(空載狀態(tài))。

保壓能力:關閉高閥后1小時內(nèi)真空度≤8×10?2Pa。

抽速優(yōu)化:常溫空載下,從大氣壓抽至3.0×10?3Pa僅需12分鐘。

泵組配置:機械泵+分子泵/低溫泵+深冷捕集泵組合。

?機械系統(tǒng)?

工件架支持球傘式、行星式或翻轉(zhuǎn)式(可選)。

基板回轉(zhuǎn)速度:3-30r/min可調(diào)。

二、鍍膜系統(tǒng)配置

?蒸發(fā)源?

標配雙電子(E型),可選配多位旋轉(zhuǎn)阻蒸源。

環(huán)形坩堝設計,支持100層以上復雜膜系(如SiO?、TiO?、Ta?O?等)。

?監(jiān)控與控制?

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