描述：

設(shè)備名稱OTFC-1550CBI/DBI

真空室SUS304, φ1550mm

工件架φ 1550mm

工件架轉(zhuǎn)速10 rpm to 30 rpm (可變)

光學(xué)膜厚控制HOM2-R-VIS350A光學(xué)膜厚監(jiān)控儀波長(zhǎng)范圍:350nm to1100nm反射式/透射式可選

水晶式膜厚計(jì)XTC/3+6點(diǎn)式水晶傳感器

蒸發(fā)源電子槍2套

離子源10cm RF 離子源

排氣系統(tǒng)機(jī)械泵+1個(gè)擴(kuò)散泵+Polycold(或1個(gè)冷凝泵)

性能

達(dá)到壓力7.0 × 10-5 Pa 以下

排氣時(shí)間15 分 (大氣壓 1.3×10-3 Pa)

基板溫度最高:350℃

工作條件

設(shè)備尺寸4500mm (W)×5500mm (D)×3200mm (H) approx.

電源3相,200v,50/60Hz, 約80KVA

水流量180升/分以上

空氣壓力0.5MPa 以上

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