描述：

MEMF管道式氣體質(zhì)量流量計(jì)廣東廣州!

產(chǎn)品概述

本產(chǎn)品采用MEMS質(zhì)量流量傳感器技術(shù),能根據(jù)用戶的需求提供在線流量計(jì)量。傳感器系采用CMOS兼容MEMS工藝制造。傳感器可測(cè)量低至0.01m/sec及65m/sec。針對(duì)不同的應(yīng)用,傳感器可用于測(cè)量氣體的質(zhì)量流量、體積流量及 介質(zhì)流速。專門(mén)設(shè)計(jì)的電路具有放大及微小信號(hào)處理功能以輸出。

不同于其它MEMS傳感技術(shù),單個(gè)傳感芯片上集成多個(gè)傳感器。芯片表面采用具有高導(dǎo)熱性能的陶瓷材料鈍化處理,在傳感器的靈敏度的同時(shí)避免傳感器與氣體介質(zhì)直接接觸以提高。當(dāng)沒(méi)有氣體介質(zhì)流過(guò)MEMS傳感器芯片時(shí),傳感器周圍保持穩(wěn)定的溫度場(chǎng)(溫度分布)。當(dāng)被檢測(cè)氣體介質(zhì)流過(guò)傳感器芯片時(shí),溫度場(chǎng)因?yàn)榱黧w介質(zhì)帶走熱量導(dǎo)致局部溫度重分布。這種局部溫度場(chǎng)變化取決于流體介質(zhì)的質(zhì)量及流速。集成在芯片上的傳感器對(duì)此溫度分布進(jìn)行測(cè)量,通過(guò)校準(zhǔn),專門(mén)設(shè)計(jì)的信號(hào)處理電路和智能控制軟件測(cè)量實(shí)際的介質(zhì)質(zhì)量流速。介質(zhì)質(zhì)量流速則可換算成體積流速及累計(jì)介質(zhì)體積流量。

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