寧波其他二手機床
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井井井 周期性維護1. **腔室與屏蔽罩**:按生產(chǎn)批次,定期拆洗屏蔽板、滾筒;濺射沉積物堆積會產(chǎn)生顆粒、掉膜、漏真空;使用無塵布 + IPA,嚴禁硬質(zhì)刮擦腔體。2. **冷阱邁斯納線圈**:定期除霜再生;水汽吸附飽和會直接導(dǎo)致薄膜吸收變大。3. **靶材與 Dual?Cathode 陰極**:檢查… 12.8 萬
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