描述：

工廠轉(zhuǎn)讓線上用日本光馳GENER-2350真空鍍膜機(jī)

應(yīng)用:此真空鍍膜機(jī)是鍍制防污膜(AS膜)及防反射膜+防污膜(AS+AR膜)的大型光學(xué)鍍膜機(jī), 應(yīng)用于智慧手機(jī)等所配的觸摸屏。

特征:磁密封驅(qū)動(dòng)的基板旋轉(zhuǎn)方式可得到穩(wěn)定和均勻的膜厚分布 配備RF離子源以提高膜的耐摩擦性。(*已通過(guò)4萬(wàn)次以上摩擦試驗(yàn)*) * 根據(jù)摩擦試驗(yàn)的規(guī)格,摩擦的次數(shù)有所不同。 防污膜(AS 膜)批量生產(chǎn)。

規(guī)格:真空室 Ф2350mm×H 1400mm 基板架 Ф2200 mm,5片式基板架轉(zhuǎn)速 20rpm 晶振式膜厚計(jì) 6點(diǎn)式水晶傳感器蒸發(fā)源 電子槍1臺(tái),熱阻蒸1臺(tái)離子源 RF離子源

性能:達(dá)到壓力 7.0E-5Pa 以下排氣時(shí)間 15分以下(大氣壓~2.0×10-3 Pa)

工作條件:設(shè)備尺寸 約6300mm (W) ×9000mm (D) ×4000mm (H) 電源 3相,200v,50/60Hz, 約80KVA 水流量 220升/分以上空氣壓力 0.5 - 0.7 MPa 重量 約12000kg

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