核心工作原理
日本光馳HSP-1650磁控濺射鍍膜機,核心采用日本光馳專屬優(yōu)化的“直流磁控濺射+射頻磁控濺射”雙模式技術(shù),依托光學(xué)干涉原理,在高真空環(huán)境下,通過磁場約束等離子體,將鍍膜材料(靶材)以原子或分子形態(tài)精準沉積到光學(xué)元件(基片)表面,形成均勻、致密、附著力強的功能性薄膜,全程通過光馳專屬PLC精密控制系統(tǒng)監(jiān)控,確保膜層厚度、成分與性能符合設(shè)計要求,核心技術(shù)與具體工作流程如下:
核心技術(shù)基礎(chǔ)
設(shè)備以物理氣相沉積(PVD)技術(shù)為核心,依托光學(xué)干涉原理實現(xiàn)薄膜的功能性調(diào)控當光入射到薄膜表面時,薄膜上下表面的反射光會發(fā)生干涉,通過精準控制薄膜的材料、厚度、層數(shù)及結(jié)構(gòu),可使特定波長的光增強或減弱,從而達到增透、高反、分光、濾光等設(shè)計目標,這是光學(xué)鍍膜的核心理論基礎(chǔ)。同時,設(shè)備配備光馳專屬高性能磁控靶(可適配多靶材同時濺射)、高頻離子源與精密電子,可靈活切換直流、射頻兩種濺射模式,適配不同材質(zhì)靶材(金屬、合金、介質(zhì)材料)與基片的加工需求,兼顧鍍膜效率與鍍膜精度。
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