描述：

明細(xì)介紹:

?NO 2016年?- 2018年

?EB(電子槍) 1GUN.。韓一 12六

?高于源 韓一。(霍爾)

?機(jī)板泵 愛德華EM275

?羅獲系 愛德華EM2600

?深冷 韓國V-PLUS1000H

?品控 XTC+2個(gè)品控

?阻蒸 1個(gè)

二,鍍膜機(jī)操作步驟

打開總開關(guān),包括冷卻水開關(guān)和機(jī)器開關(guān)。

打開鍍膜機(jī)總開關(guān),樣品旋轉(zhuǎn)開關(guān),升降開關(guān)按鈕。

將玻璃基板至于樣品托中,導(dǎo)電一面向下。

蒸鍍室、預(yù)處理室放氣。

打開蒸鍍室與預(yù)處理室之間的閘板閥(順時(shí)針方向關(guān),逆時(shí)針方向開),推拉桿推至大真空室中,將樣品放到推拉桿上,將推拉桿拉回至預(yù)處理中。關(guān)閉閘板閥(順時(shí)關(guān)閉,逆時(shí)針開)

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