描述：

主要特點(diǎn)

高精度:可實(shí)現(xiàn)納米級乃至亞納米級的測量精度,能精準(zhǔn)捕捉非球面的面形誤差,對于保障光學(xué)元件的性能至關(guān)重要。

非接觸測量:以激光為測量媒介,無需與被測非球面直接,避免了式測量可能帶來的損傷,同時也能實(shí)現(xiàn)快速、高分辨率的測量。

靈活性強(qiáng):通過更換菲索標(biāo)準(zhǔn)鏡、優(yōu)化光路校準(zhǔn)方案或結(jié)合 CGH,可實(shí)現(xiàn)對不同類型非球面元件的測量,包括平面、球面、離軸非球面等。

應(yīng)用領(lǐng)域

光學(xué)制造:用于非球面光學(xué)元件的質(zhì)量檢測,如非球面透鏡、反射鏡等,確保元件的面形精度符合設(shè)計要求,是光學(xué)元件生產(chǎn)過程中不可或缺的檢測設(shè)備。

航空航天:在衛(wèi)星遙感鏡頭、航空航天光學(xué)系統(tǒng)等的制造中,非球面激光干涉儀用于保障鏡片面形偏差控制在納米級,以確保遠(yuǎn)距離成像精度和光學(xué)系統(tǒng)的性能。

半導(dǎo)體制造:為非球面光刻鏡頭提供高精度質(zhì)量驗(yàn)證,支撐芯片制程的持續(xù)升級,對于半導(dǎo)體制造工藝的精度提升具有重要意義。

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