描述：

二手美國ZYGO立式干涉儀/臥室干涉儀4寸 6寸口徑介紹

光學(xué)測量 - ZYGO的光學(xué)測量產(chǎn)品提供了極其精密的無測量方式,可以用于精密器件的3維表面形貌和表面粗糙度等特性的檢測和生產(chǎn)控制。我們產(chǎn)品設(shè)計宗旨是為客戶在高技術(shù)生產(chǎn)過程中能夠改善產(chǎn)品質(zhì)量、提高產(chǎn)量和降低成本。ZYGO產(chǎn)品廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、LCD面板制造、光學(xué)制造、納米技術(shù)、汽車制造等生產(chǎn)及科研領(lǐng)域。

精密定位解決方案 - ZYGO的位移檢測系統(tǒng)及其組件被半導(dǎo)體和液晶板設(shè)備生產(chǎn)廠商作為其超精密平臺定位系統(tǒng)中的關(guān)鍵組成部件。

能參數(shù):

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1、測量重復(fù)性:1λ/300 (2σ )

2、RMS?重復(fù)性:2 λ/10,000 (2σ)

3、數(shù)據(jù)采樣:?640x480?像素,8位

4、分辨率:>λ/8,000

5、條紋分辨率:180條紋

7、數(shù)據(jù)采樣時間:低分辨率(7幅數(shù)據(jù)圖像):93 ms?;高分辨率(13幅數(shù)據(jù)圖像):173 ms

8、測量光束直徑:102?mm

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