描述：

一、基礎(chǔ)規(guī)格

晶圓兼容性

尺寸:支持 6 英寸(Φ150mm)和 8 英寸(Φ200mm)晶圓。部分二手設(shè)備描述中提及 “6-12 英寸”,但主流資料顯示其標(biāo)準(zhǔn)配置為 6/8 英寸,12 英寸可能需通過(guò)特殊定制或升級(jí)實(shí)現(xiàn)。

厚度范圍:標(biāo)準(zhǔn)配置支持 1mm 以上晶圓加工,通過(guò)工藝優(yōu)化可實(shí)現(xiàn)數(shù)十微米的超薄減薄(如 50-100μm)。

電源與功耗

輸入電源:AC 200V,50/60Hz,3 相,總功率需求 17kVA。

接地標(biāo)準(zhǔn):JIS 第三類(lèi)(≤100Ω)。

二、機(jī)械與運(yùn)動(dòng)參數(shù)

主軸系統(tǒng)

電機(jī)功率:4.2kW 直接驅(qū)動(dòng)高壓電機(jī),支持高剛性研磨。

轉(zhuǎn)速范圍:砂輪主軸轉(zhuǎn)速 1,000–7,000rpm(1rpm 步進(jìn)精度),適配粗磨與精磨場(chǎng)景。

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