描述：

OTFC-1800是一款高性能的光學(xué)鍍膜裝置,不僅具備齊全的光學(xué)薄膜形成裝置,而且還搭載了離子源,可以實現(xiàn)高性能光學(xué)濾光片的量產(chǎn)。這款設(shè)備可以生產(chǎn)紅外截止濾光片、分色濾光片等成膜,可以應(yīng)用于各種領(lǐng)域。不僅如此,這款設(shè)備還擁有自動化控制系統(tǒng),使用起來非常方便,大大提高了生產(chǎn)效率。

機器配置如下:

真空室:SUS304,Ф1550*1800MM

工件架:Ф1600

工件架轉(zhuǎn)速:10rpm to 30rpm (可變)

光學(xué)膜厚控制:HOM2- -R -VIS350A

光學(xué)膜厚監(jiān)控儀:波長范圍: 350nm to 1100nm |反射式

水晶式膜厚計:XTC/3+6點式水晶傳感器

蒸發(fā)源:2套日本電子24P雙槍

離子源:23寸光馳RF離子源

排氣系統(tǒng):機械泵1個,擴散泵Polycold? 日本愛發(fā)科2401+1200A

性能

達到壓力:7. 0X10-5Pa以下

排氣時間:20分(大氣壓~1. 3X 10-3Pa)

基板溫度:最高: 350C

工作條件

電源:3相, 200v, 50/ 60Hz,約120KVA

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