手聯(lián)合2050光學(xué)鍍膜機 離子蒸發(fā)電鍍膜機AR AF包安裝調(diào)試保修服務(wù)
鍍膜操作
對于蒸發(fā)鍍膜,根據(jù)需要選擇合適的蒸發(fā)源加熱方式,并設(shè)置好加熱參數(shù),如采用電阻加熱,可調(diào)節(jié)電流使電阻升溫來加熱鍍膜材料;若為濺射鍍膜,根據(jù)工藝要求設(shè)置好濺射參數(shù),如濺射功率、氣體流量等。
當(dāng)真空度和其他參數(shù)達(dá)到設(shè)定值后,開啟工件旋轉(zhuǎn)裝置,使基片均勻地暴露在鍍膜環(huán)境中。
打開鍍膜材料的供給裝置,如蒸發(fā)鍍膜中打開蒸發(fā)源,或濺射鍍膜中啟動離子源等,開始鍍膜過程,期間需密切關(guān)注鍍膜的厚度、速率等參數(shù),可通過晶控儀等設(shè)備進(jìn)行監(jiān)測和控制。
結(jié)束操作
鍍膜完成后,先關(guān)閉鍍膜材料供給裝置,停止鍍膜。
關(guān)高真空表頭、關(guān)分子泵,待分子泵顯示到 50 時,依次關(guān)高閥、前級、機械泵,這期間約需 40 分鐘。
到 50 以下時,再關(guān)維持泵,關(guān)閉總電源、水泵、氣源等。
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