二手SHINCRON新柯隆RAS-1100濺射鍍膜機(jī)/1300蒸發(fā)電鍍機(jī)轉(zhuǎn)讓介紹
離子鍍膜工藝
準(zhǔn)備階段:將光學(xué)元件進(jìn)行徹底清洗和處理,放入鍍膜機(jī)的真空室內(nèi),將蒸發(fā)源和離子源安裝調(diào)試好,準(zhǔn)備好鍍膜材料。
離子化與沉積階段:以光學(xué)元件為陰極,鍍膜機(jī)外殼為陽極,向真空室內(nèi)充入惰性氣體,產(chǎn)生輝光放電,形成等離子體。蒸發(fā)源蒸發(fā)鍍膜材料,蒸發(fā)出來的分子通過等離子體區(qū)域時(shí),被電子碰撞電離,形成正離子。正離子在陰極負(fù)電壓的加速作用下,以較高的能量轟擊光學(xué)元件表面,并沉積在表面,同時(shí)未電離的中性原子也會(huì)沉積在光學(xué)元件或真空室壁表面。
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