描述：

測量伺服驅(qū)動(dòng)系統(tǒng):

海德漢金屬貼片分辨率:X/Y/Z軸0.0001mm(0.1μm進(jìn)口金屬貼片尺)

測量精度:1.5μm+L/200重復(fù)精度1.5μm

X/Y/Z三軸臺(tái)達(dá)閉環(huán)高性能伺服電機(jī),雙重閉環(huán)控制系統(tǒng)。

影像系統(tǒng):

攝像機(jī):高清數(shù)字2/3 320萬相機(jī)視頻放大倍數(shù):30-190X

鏡頭:WM高清變倍/連續(xù)放大倍率0.7-5.0x

可配0.5x物鏡,總放大倍率15-95X

可配2x物鏡,總放大倍率:60-380x

光源系統(tǒng):表面光源+投射光源冷光源+同軸光,壽命長,亮度可調(diào)。超高精密全自動(dòng)測量,CNC四軸控制。

高精度高強(qiáng)度機(jī)臺(tái):000級(jí)大理石底座/立柱/工作臺(tái),精度高,穩(wěn)定性好。

WM自動(dòng)原裝變倍同軸光學(xué)鏡頭,實(shí)現(xiàn)全自動(dòng)測量,無需變倍校正。

綜合進(jìn)口軟件功能研發(fā)的3D測量軟件,提高邊界分辨能力。

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