參數(shù)如下
三軸行程:2400x1600x1000mm
長(zhǎng)度示值誤差:1.0+L-400μm
掃描探測(cè)誤差:1.6μm
光柵尺解析度:0.02μm
出廠日期:2016年
帶三維掃描測(cè)頭
此貼長(zhǎng)期有效，聯(lián)系我時(shí)，請(qǐng)說(shuō)明是從處理網(wǎng)看到的。
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