描述：

FSM500TC 應(yīng)力測(cè)量儀

特殊功能和優(yōu)點(diǎn)

1. 多重導(dǎo)向銷設(shè)計(jì),手動(dòng)裝載樣品,有優(yōu)異的重復(fù)性與再現(xiàn)性研究。

2. 優(yōu)異的分辨率測(cè)量0.2um弓形高度變化超過 20M 的平鏡(大約 0.8%)

3. 全3D測(cè)繪的手動(dòng)旋轉(zhuǎn)平臺(tái)。

4. 測(cè)量局部應(yīng)力-測(cè)量42 點(diǎn)/mm 并大于8400 點(diǎn)/200mm晶圓。這種測(cè)量密度獲得更好的信號(hào)噪聲比。

5. *封閉的設(shè)計(jì),溫度更穩(wěn)定。

6. 特殊的設(shè)計(jì)使震動(dòng)偏移降到低。

7. 圖形式使用界面更容易使用。

8. 當(dāng)改變彈性模數(shù),晶圓或薄膜厚度設(shè)備會(huì)自動(dòng)重新計(jì)算應(yīng)力保存數(shù)據(jù)文檔。

9. 可以計(jì)算雙軸彈性模量和線膨脹系數(shù)。

10. 可以計(jì)算應(yīng)力的均勻性。

11. 可以輸出數(shù)據(jù)到Excel ,提供給SPC 分析

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